一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置

摘要

本实用新型公开了一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置，包括微波等离子体源，微波等离子体源装入不同形式的真空室内，构成不同形式的远程微波等离子体装置，微波等离子体源由微波腔、产生等离子体的介质容器和产生微波的磁控管及其供电电源组成，微波腔由矩形波导制成，在矩形波导一端离短路板距离为λg/4处，磁控管的天线在圆孔中心伸入矩形波导，磁控管的天线距这一端的短路板18.6mm，介质管的一端接装有进气口的法兰，与介质管通过O形胶圈形成真空密封连接。用本远程微波等离子体装置可进行多种物件的表面处理，可使得物件表面变得更加光滑，产量增加，对水的接触角从未处理的115°减少到85°。