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德国; 准分子激光退火技术; 薄膜晶体管退火; 输出功率; 脉冲能量;
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机译:原位监测锡掺杂氧化铟薄膜的准分子激光退火,以开发低温制造工艺
机译:低温多晶硅技术中的300 W XeCl受激准分子激光退火技术
机译:利用准分子激光微加工,建模和仿真技术开发生物医学设备。
机译:准分子激光退火形成的选择性预图案自由自组装Ge纳米点的研究
机译:低温多晶硅技术中300 W XeCl准分子激光退火和顺序侧向凝固
机译:准分子激光退火制造低成本太阳能电池。 1984年10月1日至12月31日第3号季度技术报告
机译:准分子激光发生器和准分子激光退火设备
机译:以准分子激光退火装置,多晶薄膜晶体管和非晶质的制造方式照射准分子激光束
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