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In-Nb复合半导体氧化物Cl2敏感特性的研究

     
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摘要

以检测Cl2为目标,采用恒温化学共沉积法合成了In-Nb复合半导体氧化物,并研究了其气体传感器的制作方法,分析了In-Nb气敏材料的微观特性和敏感特性,探讨了气敏机理.实验证明,In-Nb材料具有良好的Cl2敏感特性.

著录项

  • 来源
    《陶瓷学报》|2008年第3期|272-275|共4页
  • 作者

    赵文杰; 施云波; 修德滨; 雷廷平; 冯侨华; 王立权;

  • 作者单位

    哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨:150080;

    哈尔滨工程大学机械工程博士后科研流动站,哈尔滨:150001;

    哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院,哈尔滨:150080;

    哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院,哈尔滨:150080;

    哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨:150080;

    哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院,哈尔滨:150080;

    哈尔滨工程大学机械工程博士后科研流动站,哈尔滨:150001;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TP212;
  • 关键词

    In2O3; Nb2O5; 气敏特性; 氯气传感器;

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