射频反应溅射制备SnO_2薄膜机理研究

摘要

SnO2 薄膜的成膜机制是研究其结构的一项重要内容 ,本文就射频反应溅射成膜过程中影响成膜质量的因素进行了讨论 ,给出了薄膜形成过程的初步模型 。