无氢类金刚石膜的光致发光特性研究

摘要

使用脉冲激光沉积(PLD)技术制备了系列元氢类金刚石(DLC)薄膜,测量了样品的Raman光谱、光吸收和光致发光,研究了光致发光与制备条件的依赖关系.结果表明,这种薄膜是有少量sp2键和sp3键组成的非晶碳膜.薄膜的光学带隙在1.68～2.46 eV,发光在可见光区呈宽带结构.沉积温度对类金刚石薄膜的结构和发光性质有较大影响.当沉积温度从室温升高至400℃时,sp2团簇的长大使C原子的有序度增强,从而导致薄膜的光学带隙变窄,发光峰红移且半高宽变小.