扩散硅压力传感器灵敏度温度漂移的调整

摘要

根据扩散硅压力传感器灵敏度温漂产生的原理，分析了灵敏度与温度的关系。并依据实验数据论述了灵敏度系数和扩散表面杂质浓度的关系，以及电阻温度系数与表面杂质浓度的关系。简单介绍通过调整和控制表面杂质浓度等参数，得到所需的灵敏度温度漂移曲线。