石英晶体横向场激励压电传感器的频率温度特性

摘要

为分析石英晶体横向场激励（1ateral-field—excitation，LFE）压电传感器的频率温度特性，文中在厚度场激励（Thick—field—excitation，TFE）压电传感器计算频率温度系数方法基础上，增加一个电场方向的自由度，推导计算LFE压电传感器频率温度系数的公式，并使用该公式计算常用Y旋转切石英晶体横向场激励传感器的一阶、二阶和三阶温度系数，并将其与不考虑压电效应、厚度场激励的2种情况进行比较。通过计算发现，石英晶体在3种不同情况下的频率温度特性曲线基本重合，AT切和BT切石英晶体LFE压电传感器具有零温度系数。