不同电极结构的纯横向场激励压电传感器性能研究

摘要

横向场激励（lateral-field-excitation,LFE）压电传感器因其在液相测量中的优越特性而引起广泛关注。最近的研究表明LFE器件具有纯LFE、伪LFE和准LFE 3种不同的工作模式。为了研究不同电极结构的纯LFE器件的特性,文中在相同的铌酸锂晶体基板上制作了5种不同电极结构的纯LFE压电传感器,并进行了性能测试和对比分析。结果表明:两圈对称螺旋电极结构与单gap电极结构的LFE器件比另外3个LFE器件具有更高的Q值。当传感器从空气中移到水中和从水中移到NaCl溶液中时,谐振频率均减小,而当传感器被从水中移到异丙醇溶液中时,谐振频率增大,其中双间隔电极结构的LFE压电传感器谐振频率变化幅度最大。