MEMS无源无线压力传感器研究

摘要

无源无线压力传感器是一种能应用在密闭和恶劣环境中的新型传感器.设计了一种通过电感耦合传输能量的传感器结构.该结构由一个电容和一个电感形成串联回路,通过谐振频率的变化表征出被测环境量的变化.对该结构的尺寸参数做出了优化,在工艺限制下获得了较高的Q值,并给出了制作该器件的工艺流程.理论上该传感器的灵敏度达到63.7 kHz/psi.