高探测率（〉1×1010chHz1／2W—1）InAsSb应变层超晶格红外光伏探测器

摘要

利用InAs_(0.15)Sb_(0.85)/InSb应变层超晶格(SLS)制造了一种高探测率的红外光电二极管。经表面钝化的器件在波长小于等于10μm时探测率大于等于1×10^(10)cmHz^(1/2)W^(-1)。这种器件证明了在InAsSb应变层超晶格基础上制造长波红外光伏探测器的可行性。