用图像处理技术计算薄膜厚度和表面粗糙度

摘要

应用数字图像技术处理薄膜的断面扫描电子显微照片,定量分析薄膜材料的厚度和表面粗糙度.根据薄膜的断面扫描电子显微照片的特征,用垂直投影法计算阈值,根据阈值对薄膜显微照片进行二值化处理,获取薄膜材料表面图像;再将二值化后的图像做垂直投影,确定薄膜表面区域,并根据该区域区间去除噪音.对已提取的薄膜表面细化,提取薄膜表面轮廓线;确定薄膜的平均表面并计算出表面的粗糙度.应用局部垂直投影法,确定薄膜与衬底之间的界面位置.根据薄膜的平均表面的位置和界面的位置,计算出薄膜的厚度.