快速退火炉热源及其温度均匀性设计

摘要

根据快速退火炉加热系统的组成,利用热量传递的基本理论定性地分析了满足热处理工艺指标时加热系统所需的热功率以及影响快速退火系统温度均匀性的因素.在此基础上提出了热源分区的设计思想.