公开/公告号CN111463146A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-28
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201911327919.0
发明设计人 V·S·C·帕里米;Z·黄;J·李;S·拉达克里什南;程睿;D·N·凯德拉亚;J·C·罗查;U·M·科尔卡;K·杰纳基拉曼;S·M·博贝克;P·K·库尔施拉希萨;V·K·普拉巴卡尔;B·S·权;
申请日2019-12-20
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 11:36:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20191220
实质审查的生效
2020-07-28
公开
公开
机译: 改进热传递和温度均匀性的加热踏板设计
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