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闫金良;
烟台师范学院,物理系,山东,烟台,264025;
自适应光学; 变形镜; 微电子机械系统; 薄膜; 静电驱动;
机译:可调焦微反射镜:可变形微镜的设计和制造可行性
机译:范德华力作用下的静电驱动纳米/微束的稳定性分析,一种半解析方法
机译:一种新型的静电驱动音叉微机械陀螺仪,其杆结构在大气压下工作
机译:集成CMOS的1200反射镜阵列用于光子开关:机械杠杆和扭转静电驱动的应用,以降低驱动电压要求并增加倾斜角
机译:微柱压缩实验研究了大块金属玻璃的微观机械变形行为和机理。
机译:具有光学干涉读取和集成静电驱动的微机械加速度计
机译:集成电热静电驱动的混合式电热机械微致动器分析
机译:用于可变形反射镜的pZT单晶微致动器的优化设计,制造和特性
机译:带有微致动器和微致动器的可变形反射镜,具有位移检测功能
机译:静电驱动,用于操作微机械部件的方法,具有静电驱动和用于静电驱动的制造方法
机译:静电驱动器,用于操作具有静电驱动器的微机械部件的方法以及制造静电驱动器的方法
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