小型铌酸锂多功能集成光学器件

摘要

为满足小型光纤陀螺对光学器件小体积的要求,对铌酸锂多功能集成光学小型化器件的结构做了分析和优化设计.采用BPM软件分析了Y形分支波导的S形波导损耗与弯曲长度及折射率差的关系.通过调整退火质子交换的工艺参数,增加了波导对光的束缚能力;降低了小型化芯片上S形波导的弯曲损耗;去掉了原有Y形波导的输出端直波导,直接由S形弯曲波导引至输出端,在更短的芯片上得到了更长的弯曲过渡区.设计制作的芯片长度由常规的20 mm减至12.5 mm,封装后的器件长度减小到20 mm,为目前同类常规器件尺寸的2/3.设计制作的器件插入损耗典型值小于2.5 dB,全温损耗变化量小于0.2 dB.