铌酸锂单晶薄膜上加载条型波导和集成光学器件的研究

目录

声明

摘要

符号说明

第一章绪论

1．1铌酸锂单晶薄膜

1．2本论文主要研究内容

参考文献

第二章基本理论和实验技术

2．1光波导的基本理论

2．2光波导耦合技术

2．3光波导传输损耗

2．4表面形貌及性能测试

2．5微纳加工技术

2．6质子交换技术

参考文献

第三章铌酸锂单晶薄膜上光波导的理论模拟

3．1直波导的理论模拟

3．2弯曲波导的理论模拟

参考文献

第四章铌酸锂单晶薄膜上加载条型光波导的研究

4．1 PECVD氦气氛围沉积非晶硅加载条型光波导

4．2 PECVD氢气氛围沉积非晶硅加载条型光波导

4．3磁控溅射沉积非晶硅加载条型光波导

4．4二氧化硅加载条型光波导

参考文献

第五章铌酸锂单晶薄膜上集成光学器件的研究

5．1 Y分支器

5．2波长转换器件

5．3光电探测器

参考文献

第六章总结

6．1研究工作总结

6．2主要创新点

致谢

攻读博士学位期间发表及待发表的论文、专利及获得的奖励

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