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李庚霖; 贾曰辰; 陈峰;
山东大学物理学院 晶体材料国家重点实验室 济南250100;
铌酸锂薄膜; 微纳加工; 非线性光学; 集成光子学器件;
机译:在硅晶片上制备薄铌酸锂层,以实现声器件和LSI的晶片级集成
机译:提供高频Lamb波器件-4.5GHz使用由CVD与MEMS结构铌酸锂薄Lamb波形成的铌酸锂薄膜高频谐振器
机译:宽带中红外光子学的绝缘体上硅波导器件
机译:三维片上光子学的平台:多层绝缘体上硅晶片
机译:互补硅化物薄体绝缘体上硅CMOS器件。
机译:电热软机械师能够安全运输和处理薄细胞/薄膜片和生物电子器件
机译:绝缘体(LNOI)芯片上铌酸锂上光子器件的制备
机译:在蓝宝石上硅和绝缘体上硅器件中质子引发的单事件扰动的角效应
机译:生产了绝缘体上半导体结构,特别是用于微电子学和光电子学的绝缘体上碳化硅结构
机译:用于微电子学的绝缘体上硅类型的半导体器件及其制造方法
机译:形成极薄的绝缘体上硅(ETSOI)器件的方法,该器件由于源极/漏极区的环绕结构而具有减小的寄生电容和接触电阻
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