四探针薄层电阻测试仪的电路原理

摘要

四探针薄层电阻测试仪具有量程选择方便、恒流源电流可调及数据读出迅速、稳定的特点。因此,本文结合半导体制程中扩散层薄层电阻测量的实际需要,介绍了四探针薄层电阻测试仪的测试原理和电路原理,以期为相关学者的研究提供参考。