首页> 中文期刊>北华航天工业学院学报 >探针游移对方形四探针测试仪测量硅片薄层电阻的影响分析

探针游移对方形四探针测试仪测量硅片薄层电阻的影响分析

开具论文收录证明 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

分析方形四探针探针游移对其测量微区薄层电阻的影响,完成了测试薄层电阻的公式的推导,对游移后产生的误差影响进行了统计数据分析,得出了测试结果满足测试误差要求的结论.

著录项

来源
《北华航天工业学院学报》|2007年第5期|35-37|共3页
作者
苏双臣; 刘新福; 张润利; 刘金河;
展开▼
作者单位

河北工业大学,廊坊分院,河北,廊坊,065000;

河北工业大学,天津,300130;

河北工业大学,天津,300130;

河北工业大学,天津,300130;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试和检验;
关键词
硅片; 薄层电阻; 四探针方法; 探针游移; 测试误差;
入库时间 2022-12-15 16:30:05

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 四探针薄层电阻测试仪的电路原理 [J] . 李斌 . 河南科技 . 2018,第014期
2. 微区薄层电阻四探针测试仪及其应用 [J] . 孙以材 ,孟庆浩 . 现代仪器与医疗 . 2000,第001期
3. 直排四探针法测量硅片电阻率及不确定度评定 [J] . 高英 ,李兰兰 . 材料科学 . 2019,第012期
4. 光伏用硅片电阻率四探针法测量值不确定度评定 [J] . 陈彩云 . 计量与测试技术 . 2018,第010期
5. 双位组合四探针法测量硅片电阻率 [J] . 鲁效明 ,宿昌厚 . 微电子学 . 1994,第3期
6. 扩展电阻、汞探针、四探针测试仪在硅外延测试中的应用 [C] . 张秀丽 . 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会 . 2005
7. 探针游移对测试大型硅片微区薄层电阻的影响及仿真技术研究 [A] . 赵丽敏 . 2010

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号