ピジョンが提供するシート抵抗・リーク電流測定装置非接触型の測定で四探針プローブの限界を克服幅広い条件でのイオン注入プロセス評価に対応

摘要

ビジョンは，米国FSM製検査測定装置の日本でのrn代理販売事業を展開している。本稿では，SPV技rn術を利用した非接触型シート抵抗・リーク電流測定rn装置FSM RsLシリーズの技術概要について，FSMrn日本支店代表 秋元春生民への取材を基にまとめる。