位置校正方法和用于关于四个探针电阻测量进行位置校正的系统

摘要

本发明涉及一种通过提供多点探针和试样来建立具体电极位置的方法。方法包括以下步骤：测量或确定多点探针的电极中的两个之间的距离；以及建立表示试样的电阻模型。方法还包括以下步骤：执行至少三个不同的薄片电阻测量；以及基于电阻模型对于不同薄片电阻测量中的每一个建立对应的预测薄片电阻。其后，方法包括以下步骤：建立构成预测薄片电阻中的每一个与其对应测量薄片电阻之间的差的一组差；以及通过使用距离并执行数据拟合，导出多点探针在试样的表面上的具体电极位置，该执行通过使构成所述一组差的和的误差函数最小化来进行。