无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位

摘要

研制出检测 U L SI芯片的薄层电阻测试仪 ,可用于测试无图形样片电阻率的均匀性 ,用斜置的方形四探针法 ,经显微镜、摄像头及通信口接入计算机 ,从计算机显示器观察 ,用程序及伺服电机控制平台和探针移动 ,使探针处于规定的位置 ,实现自动调整、测试 ;对测试系统中的探针游移造成的定位误差进行分析 ,推导出探针游移产生误差的计算公式 ,绘制了理论及实测误差分布图 ;测出无图形 10 0 m m样品电阻率 ,并绘制成等值线 Mapping图 .