Al2O3表面Cu-Ti氧化物薄膜制备

摘要

本文采用Sol-Gel法在Al2O3陶瓷片上制备铜钛氧薄膜,利用X射线衍射（XRD）考察了热处理温度、热处理方式、镀膜方式等对铜钛氧化物氧薄膜相组成的影响。结果表明,薄膜中的主要相组成为CuO和TiO2。