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Y.J.Baik; 熊剑飞;
不详;
金刚石厚膜; 化学气相沉积; CVD;
机译:多阴极直流等离子体辅助化学气相沉积(DC PACVD)方法大面积沉积金刚石
机译:多阴极直流等离子体辅助CVD法沉积金刚石薄膜的性能
机译:微波等离子体化学气相沉积法在多晶金刚石厚膜上制备纳米晶金刚石膜
机译:大气压非平衡等离子体化学处理金刚石薄膜的等离子体辅助化学气相沉积(PACVD)的实验研究
机译:He / H2 / CH4 / N2混合物的微波等离子体化学气相沉积法沉积超光滑纳米结构金刚石(USND)涂层的合成及机械磨损研究
机译:磁场微波等离子体CVD法研究Si(100)衬底上大面积金刚石的形核和生长
机译:大面积等离子体辅助卤素基金刚石沉积
机译:具有用于涂覆或处理大面积基板的激发气体的远程激发的等离子体辅助化学沉积工艺(CVD)(远程等离子体CVD工艺)及其执行装置
机译:通过微波等离子体CVD法连续形成大面积的功能性沉积膜的方法和装置
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