北京中科信研制的100nm大角度离子注入机最新进展

摘要

北京中科信电子装备有限公司自行研制的100nm大角度离子注入机样机，继在中芯国际天津大生产线上调试、运行成功，各项工艺指标全部一次通过测试后，项日进展又传捷报——北京大学信息科学技术学院微电子研究所利用100nm大角度离子注入机成功研制出亚100nm工艺器件。