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程开富;
无;
化学气相淀积; 低压; 热壁; 安全性;
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机译:Ga_xSn_(1-x)O薄膜的雾化学汽相淀积法特性评估
机译:化学汽相淀积均匀生长单层MoS 2 Subscript>薄膜的大面积生长
机译:偏取向n型(0001)硅面上4H-SiC的同质外延生长和热壁低压化学气相沉积反应器MOS结构
机译:通过管状热壁低压化学气相沉积系统选择性外延生长硅锗。
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机译:真空紫外直接激发型光化学汽相淀积法研究SIO2薄膜的低温生长
机译:汽油和柴油机废气中汽相有机化学品健康风险评估的可行性
机译:用于电化学汽相淀积的原始材料汽化器,电化学汽相淀积装置和使用该装置的固态电解膜形成方法
机译:等离子体化学汽相淀积装置及采用该装置的化学汽相淀积方法及装置内部的清洗方法
机译:低压化学汽相淀积的自动关闭和吹扫气体清洁方法
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