公开/公告号CN1392595A
专利类型发明专利
公开/公告日2003-01-22
原文格式PDF
申请/专利权人 日本派欧尼股份株式会社;德岛酸素工业株式会社;
申请/专利号CN02122659.8
申请日2002-06-18
分类号H01L21/205;C23C16/34;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人孙爱
地址 日本东京
入库时间 2023-12-17 14:32:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-07-15
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2004-07-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-01-22
公开
公开
机译: 等离子体化学汽相淀积装置及采用该装置的化学汽相淀积方法及装置内部的清洗方法
机译: 用于电化学汽相淀积的原始材料汽化器,电化学汽相淀积装置和使用该装置的固态电解膜形成方法
机译: 化学汽相沉积设备,化学汽相沉积设备的指南成员以及使用化学汽相沉积设备的化学汽相沉积方法