微悬臂梁结构传感器与信号读出系统的集成

摘要

微悬臂梁传感器是一种利用体硅加工技术和表面加工技术制备而成的一种基本微传感器类型,由微悬臂梁结构可以发展改进得到对于多种敏感物质响应的传感器件.同样,根据传感器原理,输出信号形式的不同,可以采用多种信号读出系统与其集成.在本文中将说明传感器与信号读出部件组成的微系统结构,以及应用实例,自支撑微悬臂梁结构通过光学和电学的信号读出系统组成能够完成一定功能的集成微系统.