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光伏太阳能硅片清洗工艺的探索

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摘要

对两种不同清洗方法的工作原理、清洗效果和适用范围等特点进行了分析.不同的工艺应采用不同的清洗方法才能获得最佳效果.介绍了硅片清洗机的清洗工艺和腐蚀工艺.指出了硅片清洗工艺的发展趋势.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2010年第6期|37-39|共3页
作者
杜虎明; 牛进毅; 王莉; 马斌;
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作者单位

中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原,030024;

中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原,030024;

中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原,030024;

中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原,030024;

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正文语种 chi
中图分类洁净技术;
关键词
硅片清洗; 清洗工艺; 表面清洗;

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