65nm及以下IC制造挑战

摘要

全球IC制造业在2004年取得辉煌业绩，销售总额达到2180亿美元，提前完成了国际半导体技术发展路线图(ITRS)的90nm节点进程，十多座300mm晶圆厂正在投产或共建，全球以Intel为首的十大IC供应商都在加紧研发65nm工艺，Intel、TI、三星、东芝、台积电开始小批量生产65nm工艺的IC，谋求技术领先，抢占市场。根据2004的修正的ITRS最新技术进程可知，90nm节点正好在2004年完成了DRAM指标，