14纳米及其以下的Finfet工艺概述和瓶颈分析

摘要

半导体器件的性能要求越来越高,在14nm以及其以下工艺节点中,鳍式场效应管（Fin Field–Effect Transistor, FinFET）因为先进的性能,成为高端SOC（systemonchip）的必然趋势,本文将介绍Finfet技术的发展现状以及其技术瓶颈。