双质量微机电陀螺结构设计与仿真

摘要

微机电陀螺是基于科氏效应对物体角速度进行测量的惯性器件,利用微机械工艺制作而成,相比传统机械陀螺,体积明显减小,成本、功耗等也大幅降低。本文以高精度的微机电陀螺研制为目标,设计了一种双质量块微机电陀螺结构,建立了理论分析模型,设计并优化了结构参数,并利用仿真软件对陀螺性能进行仿真验证,仿真结果表明该陀螺具有全解耦、抗过载、抗冲击能力,在工作全温范围内温漂较小。