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双自由度双解耦陀螺的结构设计与仿真

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摘要

设计了一种新颖的陀螺结构,该结构采用双自由度设计增大检测带宽,并缓解了品质因数对陀螺灵敏度的影响;采用了双级解耦的结构设计,减小了驱动模态的同频耦合干扰.文中对结构进行了电学模型建模,并进行了相应的时域和频域分析.

著录项

来源
《传感技术学报》|2008年第2期|261-264|共4页
作者
陈伟平; 王浩; 刘骁; 韩天; 陈宏;
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作者单位

哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨150001;

哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨150001;

哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨150001;

哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨150001;

哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨150001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.12;
关键词
MEMS; 微机械陀螺; 双自由度检测; 双级解耦;

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