一种单质量双解耦的双轴硅微陀螺仪

摘要

本发明涉及双轴陀螺仪，具体是一种单质量的双轴陀螺仪，两个轴陀螺仪均为双解耦结构，均为水平轴陀螺仪。本发明解决了现有双轴陀螺仪结构复杂、良率低、机械耦合大、轴间串扰大等问题。一种单质量双解耦的双轴硅微陀螺仪，包括玻璃基底、玻璃盖帽、驱动模块、X轴检测模块、Y轴检测模块、中框复合质量块；所述驱动模块包括一个内框驱动质量块、一个中心锚块、四根工字型驱动梁、四根L型解耦梁、两个驱动极板、两个驱动反馈极板；所述X(Y)轴检测模块包括两个X(Y)轴检测质量块、两组X(Y)轴检测梳齿、两根工字型解耦梁、四对X(Y)轴检测弹性支撑梁、四个锚块。本发明适用于导航制导、平台稳定、姿态控制等高端应用领域。