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徐芸芸; 张韬; 李争鸣;
徐州空军学院;
ZnO薄膜; 扫描电子显微镜; X射线衍射; 退火热处理;
机译:通过高速率反应溅射生产的氧化锌锡薄膜晶体管:锡组成和退火温度的影响
机译:退火温度对磁控溅射沉积氮掺杂氧化锌薄膜性能的影响
机译:通过在不同温度下对溅射的氮氧化锌薄膜进行退火而制备的ZnO:N薄膜的表征
机译:RF溅射功率密度和热退火温度对掺杂氧化锌薄膜薄膜晶体管性能的影响
机译:氢退火和衬底温度对射频溅射氧化锌薄膜性能的影响
机译:退火温度和氧气流量对离子束溅射SnO2-x薄膜性能的影响
机译:衬底温度对反应溅射沉积高取向氧化锌薄膜的生长方式,微观结构和光学性能的影响
机译:退火温度对直流溅射Cr-si薄膜电阻器TCR和电阻值的影响,
机译:基于氧化锌的溅射靶材,制造基于氧化锌的溅射靶材的方法,以及具有通过制造基于氧化锌的溅射靶材的方法沉积的具有屏蔽层的薄膜晶体管
机译:氧化锌基烧结致密物氧化锌基溅射致密物的组成由该烧结致密物和溅射得到的氧化锌基薄膜形成的
机译:氧化锌烧结氧化物,通过溅射氧化锌基溅射靶而获得的氧化锌基薄膜和由烧结体组成的靶
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