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谢和平; 张树人; 杨成韬; 张洪伟; 杨艳;
电子科技大学电子薄膜与集成器件重点实验室;
快速热退火; ZnO薄膜; C轴取向; 透射电镜(TEM);
机译:射频功率和热退火对射频磁控溅射制备氧化锌薄膜性能的影响
机译:热退火对射频磁控溅射沉积氧化锌薄膜微结构的影响
机译:退火对玻璃上射频磁控溅射波导氧化锌薄膜折射率的影响
机译:衬底温度对射频磁控溅射沉积铝掺杂氧化锌薄膜性能的影响
机译:氢退火和衬底温度对射频溅射氧化锌薄膜性能的影响
机译:沉积后退火环境对氮化镓上射频磁控溅射Y2O3薄膜能带取向的影响
机译:退火温度对射频磁控溅射制造的Siznsno薄膜晶体管电性能的影响
机译:射频和直流磁控溅射制备电解质和电极薄膜的性能
机译:四级氧化锌薄膜,使用射频磁控溅射制造同一薄膜的方法以及包括该薄膜的电子设备
机译:使用第III族盐和氧化锌薄膜的氧化锌薄膜的制造方法,该氧化锌薄膜具有为氧化锌薄膜提供优异的光学和电学性能
机译:用射频磁控溅射法和薄膜太阳能电池用射频薄膜制备木质薄膜的方法
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