甲烷浓度对CVD金刚石膜表面粗糙度的影响

摘要

研究了化学气相沉积金刚石膜时甲烷浓度与金刚石膜表面粗糙度的关系。结果表明 ,随甲烷浓度的增加金刚石膜表面粗糙度下降。表面粗糙度主要由金刚石膜的晶粒大小和二次形核决定 ,晶粒越细 ,表面粗糙度越低。在金刚石晶界二次形核及长大 ,也促使金刚石膜表面粗糙度降低。