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曹慧亮; 李宏生; 申冲; 刘俊; 杨波;
中北大学电子测试技术重点实验室;
东南大学仪器科学与工程学院;
硅微机械陀螺仪; 偶极子补偿; 带宽拓展; 模态叠加; 谐振峰; 控制器设计;
机译:机械耦合感测模式的音叉微陀螺仪带宽特性研究
机译:硅微陀螺仪驱动模式下的机械热噪声
机译:基于硅技术微机电系统的微机械陀螺仪的信息特征
机译:大面积/高偏转角微镜阵列的高机械带宽多晶硅微镜
机译:每小时度模式匹配的微机械硅振动陀螺仪。
机译:用于微空间飞行器的封装硅mEms振动陀螺仪
机译:基于微机械陀螺仪形成测试冲击运动质量的方法,用于调节微机械陀螺仪的共振频率悬浮运动质量的方法,确定该悬架相移的方法以及对微机械陀螺仪的正确操作进行连续测试的方法,电极产生微机械陀螺仪和微机械陀螺仪(可选)的测试IMPACT移动质量的结构,实现了该方法和电极结构
机译:I型结构的基于硅的微机械振动陀螺仪
机译:用于气体分析的基于硅的微流传感器及其生产方法用于气体分析的基于硅的微流传感器及其生产方法
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