金刚石薄膜生长条件气相反应的动力学分析

摘要

建立一个金刚石薄膜生长条件下气相反应的化学模型，并对之进行了基于第一原理的动力学反应速度常数计算。结果表明，该模型所预言的气相浓度分布与实验定性一致。