退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
邓涛; 李平; 邓光华;
重庆光电技术研究所;
光刻; 缺陷; 措施;
机译:TFT-LCD光刻工艺中缺陷识别的神经网络方法
机译:使用SF_6 / O_2等离子清洁技术减少蚀刻缺陷并优化光刻胶掩膜栅多晶硅蚀刻工艺中的蚀刻配方
机译:基于AFM的光刻工艺中尖端几何效应的MD分析
机译:提高EUV光刻工艺中抗蚀剂涂层和显影工艺中CD的稳定性和缺陷性
机译:在康宁®Willow®玻璃上通过投影光刻技术制造的卷对卷柔性电子产品的工艺开发和分析
机译:超声波辅助提取布鲁斯爪哇种子中脂肪酸的工艺研究。高效液相色谱和带电气溶胶检测技术同时进行不同来源的分离和同时分析
机译:软X射线投影光刻掩模中缺陷的表征和可能的修复
机译:光刻工艺中基质缺陷的测定方法和基质曝光装置,能够利用分度偏差来确定缺陷的存在
机译:半导体光刻工艺的缺陷和临界尺寸分析系统和方法
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。