近场光存储深亚微米头盘间距测量方法的研究

摘要

采用多波长干涉光强比对法实时测量近场光存储头盘间距,其分辨率小于1nm。该方法通过改变柔性折臂的加载力,预先标定光强与近场间距的关系曲线,然后采集工作过程中测量点的干涉光强与关系曲线比对,获得头盘间距值。该方法需考虑近场光学飞行头表面相移对测量结果的影响。