沉积顺序对La_(0.8)Sr_(0.2)MnO_3/TiO_2异质PN结整流特性的影响

摘要

采用磁控溅射法在Si衬底上通过改变沉积顺序制备两类异质PN结:La0.8Sr0.2MnO3/TiO2和TiO2/La0.8Sr0.2MnO3,并对其进行电学性能研究。结果显示Si/La0.8Sr0.2MnO3/TiO2异质PN结中的I-V特性曲线呈现线性特征。这可能是TiO2薄膜区内垂直于生长界面的缺陷使得在垂直于衬底方向上产生载流子"通道",从而导致没有整流特性。而在Si/TiO2/La0.8Sr0.2MnO3异质PN结中的I-V特性曲线却呈现良好的整流特性。这可能是La0.8Sr0.2MnO3和TiO2生长的均很致密,没有给电流提供导通通道,使得呈现明显整流特性。变温电流电压特性曲线显示整流特性出现在一个50 K到350 K广泛温区,与此同时,随着测量温度的降低,扩散电压增大,这可能由于随着测量温度的变化导致了界面电子结构的变化。