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公开/公告号CN110391291A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院物理研究所;
申请/专利号CN201810364841.9
发明设计人 吴海燕;马紫光;胡巍;乐艮;贾海强;陈弘;
申请日2018-04-23
分类号
代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司;
代理人王勇
地址 100190 北京市海淀区中关村南三街8号
入库时间 2024-02-19 14:26:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/15 申请日:20180423
实质审查的生效
2019-10-29
公开
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