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左伟; 沈彬; 孙方宏; 陈明;
上海交通大学机械与动力工程学院;
热丝化学气相沉积; 温度场; 仿真; 单晶金刚石颗粒; 同质外延生长;
机译:微波等离子体化学气相沉积和热丝化学气相沉积技术在硅衬底上生长金刚石薄膜的比较研究
机译:3000℃热丝化学气相沉积钽丝单晶金刚石(100)薄膜的高速率生长
机译:微波等离子体辅助和热丝化学气相沉积法生长金刚石薄膜电性能的比较研究
机译:热丝化学气相沉积法在划痕的Si(100)衬底上生长的金刚石晶体的成核与生长机理研究
机译:通过微波等离子辅助化学气相沉积法生长和表征大型,高质量的单晶金刚石基底。
机译:金属有机化学气相沉积法在蓝宝石衬底上催化剂辅助大面积生长单晶β-Ga2O3纳米线
机译:热丝化学气相沉积金刚石生长机理:碳-13研究
机译:热丝化学气相沉积法合成金刚石或类金刚石薄膜
机译:微波等离子体化学气相沉积法生长金刚石的装置及其所用的衬底台
机译:单晶金刚石,制造单晶金刚石的方法以及在同一方法中使用的化学气相沉积装置
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