法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-10-26
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B29/04 申请公布日:20161026 申请日:20160708
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B29/04 申请日:20160708
实质审查的生效
2016-10-26
公开
公开
机译: 微波等离子体化学气相沉积法生长金刚石的装置及其所用的衬底台
机译: 微波等离子体化学气相沉积系统中乙硼烷和氮的结合生长白色金刚石的方法
机译: 微波等离子体化学气相沉积系统中乙硼烷和氮的结合生长白色金刚石的方法