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郝玉清; 张果虎; 常青; 方锋; 吴志强; 万关良; 秦福;
北京有色金属研究总院;
硅单晶; 氧径向均匀性; 热场; 晶转速度;
机译:低氧浓度氮掺杂直拉硅单晶的氧析出特性
机译:氩气流量对直拉硅单晶生长中氧浓度的影响和数值分析
机译:硅单晶直拉生长过程中氧偏析的统计热力学模型
机译:直拉硅单晶中主要杂质,氧和碳浓度的分布改善
机译:铬和锰掺杂的直拉生长的铋(12)锗氧(20)的光致变色和光折变响应。
机译:从硅单晶到多孔材料和量子点的太阳能电池研究进展
机译:氧阳极柱负原子氧径向密度分布的实验研究
机译:硅单晶晶片,析出氧量的面内均匀性评价方法,硅单晶的制造方法
机译:硅单晶硅片,评估其中的氧沉积物的面内均匀性的方法以及硅单晶的制造方法
机译:用于硅半导体的低氧浓缩硅单晶的制造涉及通过水平磁场型直拉法对原料硅进行硅单晶拉伸
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