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Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究

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该语文研究了Φ１２５ｍｍ单晶氧的径向均匀性，为控制氧径向均匀性应首选择Φ１２５ｍｍ热场，增加晶转速度可以改善氧径向均匀性。

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来源
《1998年全国半导体硅材料学术会议》|1998年|65-66|共2页
会议地点上海
作者
郝玉清; 张果虎; 常青; 方锋; 吴志强; 万关良;
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作者单位

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类晶体生长理论;
关键词
直拉; 硅单晶; 氧; 径向均匀性;

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1. Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究 [J] . 郝玉清 ,张果虎 ,常青 . 稀有金属 . 1998,第6期
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