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Φ125mm硅单晶的控氧技术

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Φ１２５ｍｍ硅单晶的控氧技术张果虎常青方锋吴志强郝玉清秦福（北京有色金属研究总院，北京１０００８８）关键词：硅单晶氧含量控氧技术坩埚结构１引言为满足不同的器件对硅片氧含量的不同要求，需要更精确地控制直拉硅单晶中的氧含量及氧梯度。单晶中的氧有两方面的作...

著录项

来源
《稀有金属》 |1997年第5期|395-397|共3页
作者
张果虎; 常青; 方锋; 吴志强; 郝玉清; 秦福;
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作者单位

北京有色金属研究总院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.12;
关键词
控氧技术; 坩埚; 结构; 单晶硅; 单晶炉;

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