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等离子体处理; 等离子体源; 腔室壳体; 密封; 东京电子株式会社; 专利;
机译:在大面积高密度等离子体源中各种等离子体条件下测量径向中性压力和等离子体密度分布
机译:电化学过程产生的大面积等离子体电极和有源等离子体装置
机译:基于流体模拟的大面积双频感应耦合等离子体中低频源对等离子体均匀性的调制
机译:大气压等离子体源,用于等离子体聚合和大面积处理
机译:行波驱动的感应耦合大面积等离子体源,用于平板处理。
机译:异源沃顿氏胶源性间充质干细胞在6个月大雌性大面积慢性皮肤伤口上的应用
机译:用于金刚石薄膜大面积化学气相沉积的高密度等离子体源
机译:大面积等离子体源和腔室外壳,包围大面积等离子体源内的等离子体区域
机译:电容耦合等离子体的电极结构,为了确保大面积等离子体源和基质处理设备(包括相同的来源),仅使用一种源代替几种源
机译:具有大面积内置线性天线的感应耦合等离子体处理装置,由于源的长度因大面积而变长,因此能够消除固定波效应
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