一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极

摘要

本实用新型涉及氧化物阴极等离子体源技术领域，尤其为一种大面积氧化物阴极等离子体源阴极，包括保护罩和保护块，所述保护罩的内部活动连接有固定座，且固定座的上方固定连接有阳极栅网，所述保护块位于阳极栅网的右侧，且阳极栅网的上方水平安设有安装槽，所述安装槽的内部开设有凹槽，且凹槽的前端活动连接有连接板，所述保护罩的上方垂直安设有连接柱，且连接柱的内部开设有卡槽，所述卡槽的前端活动连接有卡块，且卡块的内部开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内部活动连接有螺杆，该装置结构简单，使得能够均匀的产生大面积等离子体源，并且便于使用者对装置的内部进行清洁与维修，从而不仅使得结构稳定，而且提高装置使用的寿命。